特許
J-GLOBAL ID：201103061045603876
光学特性調整方法及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281244
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182952
特許番号：特許第3347692号
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 投影光学系の投影倍率と対称歪曲収差とこれら以外のある光学特性とを調節する方法であって、前記投影光学系の第1の光学パラメータを変える第1変更手段と前記投影光学系の第2の光学パラメータを変える第2変更手段と前記投影光学系の第3の光学パラメータを変える第3変更手段を用い、前記第1の光学パラメータを変えたときの、前記投影倍率の変化量をΔβ1、前記対称歪曲収差の変化量をΔSD1、前記光学特性の変化量をΔA1、前記第2の光学パラメータを変えたときの、前記投影倍率の変化量をΔβ2、前記対称歪曲収差の変化量をΔSD2、前記光学特性の変化量をΔA2、前記第3の光学パラメータを変えたときの、前記投影倍率の変化量をΔβ3、前記対称歪曲収差の変化量をΔSD3、前記光学特性の変化量をΔA3、としたとき、3つのベクトル(Δβ1,ΔSD1,ΔA1),(Δβ2,ΔSD2,ΔA2),(Δβ3,ΔSD3,ΔA3)のうちの2つが互いに成す角がすべて30°以上150°以下になるように投影倍率と対称歪曲収差とこれら以外のある光学特性とを調節することを特徴とする光学特性調節方法。ここで、上記各変化量は、実際の変化量を各変更手段による最大変化量で規格化した値である。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 502
G03F 7/20 502
, H01L 21/30 516 A
, H01L 21/30 515 D
