特許
J-GLOBAL ID：201103062861559024

2つの回転軸での独立的な回転を行うMEMSデバイス

発明者：
キーワース、バリー

キーワース、バリー について

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コーネルセン、ケヴィン

コーネルセン、ケヴィン について

, 
クロフォード、ジャレッド

クロフォード、ジャレッド について


出願人/特許権者：
ミクラリン インコーポレイティッド

ミクラリン インコーポレイティッド について


代理人 (6件)： 高島 一 ,  土井 京子 ,  鎌田 光宜 ,  田村 弥栄子 ,  山本 健二 ,  村田 美由紀
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-506540
公開番号（公開出願番号）：特表2011-521792
出願日： 2009年04月29日
公開日（公表日）： 2011年07月28日
要約：
MEMS装置が提供され、当該装置は、上面を有し、該上面は、ミラーなどの回転可能な素子を含んでいる。中間支持フレーム面、および、下部電気用基板の面がある。前記回転可能な素子は、フレームに対して第1の回転軸で回転可能となるように、中間支持フレーム面に形成された支持フレームによって支持されている。該フレームは、第2の回転軸に対して回転可能となるように取り付けられている。第1の回転軸での回転は、第2の回転軸での回転から実質的に独立している。【選択図】図1A
請求項（抜粋）：
MEMS装置であって、当該MEMS装置は、 上面を有し、該上面は回転可能な素子を有し、 中間支持フレーム面を有し、 下部電気用基板の面を有し、 前記の回転可能な素子が、前記の中間支持フレーム面に形成された支持フレームによって支持され、該フレームに対して第1の回転軸で回転可能となっており、 該フレームが、第2の回転軸に対して回転可能となるように取り付けられており、 第1の回転軸での回転が、第2の回転軸での回転から実質的に独立している、 前記MEMS装置。
IPC (2件)：
B81B 3/00 ,  G02B 26/08
FI (2件)：
B81B3/00 ,  G02B26/08 E
Fターム (18件)：
2H141MA21 ,  2H141MB24 ,  2H141MB63 ,  2H141MC07 ,  2H141MD13 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MD31 ,  2H141MZ03 ,  2H141MZ26 ,  3C081BA07 ,  3C081BA28 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081BA72 ,  3C081EA08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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