特許
J-GLOBAL ID：201103063125603187
ウェハ移載装置の緊急停止装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
内藤 哲寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210017
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035899
特許番号：特許第4248695号
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 装置本体の正面壁の内側に水平方向に往復直線移動可能なように、一次側又は二次側のいずれか一方が、前記正面壁に取付けられたリニアモータと、
前記リニアモータの一次側又は二次側に取付けられ、同方向に沿って往復直線移動可能なウェハ移載ロボットとを備え、
前記リニアモータの作動により、装置本体の正面壁の外側に装着されたロードポート装置の上面に設置されたウェハキャリアからウェハを1枚ずつ取り出しながらウェハ処理装置に移載するためのウェハ移載装置において、
前記リニアモータの一次側又は二次側のいずれか一方側に取付けられ、その一方側に内装されたコイルの磁気吸引力により、該磁気吸引力と反対方向に作用する圧縮ばねの弾性復元力に抗して吸着される可動体と、前記リニアモータの他方側に、前記可動体と相対向して取付けられ、前記コイルへの給電が遮断されることにより、該可動体が圧接されるブレーキ板とから成るブレーキ装置と、
停電等の非常事態発生時において給電可能な無停電電源装置と、を備え、
前記無停電電源装置の作動後において設定時間内において前記ウェハ移載装置に給電して、回生制動により当該ウェハ移載装置を停止させると共に、設定時間を経過すると、前記ブレーキ装置のコイルへの給電が遮断されて、前記圧縮ばねの付勢力により前記可動体が前記ブレーキ板に圧接してブレーキ力が発生する構成であることを特徴とするウェハ移載装置の緊急停止装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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