特許
J-GLOBAL ID：201103063158186050
石英ガラス製ウェーハ支持治具及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
石原 詔二
, 石原 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-334022
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141397
特許番号：特許第4526683号
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数個のウェーハ支持突起を上面に設けた円環状支持板を有し、複数本の支柱に所定のウェーハ載置間隔をおいて上下方向に溶接によって取り付けられた多数の前記円環状支持板の上に前記ウェーハ支持突起を介して多数のウェーハを載置する石英ガラス製ウェーハ支持治具であって、下記(a)〜(h)の工程からなる製造方法によって製造され、かつ前記円環状支持板の上下両面を精密研磨するとともに、該円環状支持板の外周上下縁部及び内周上下縁部に対して面取り加工により面取り部を形成し、かつ前記内周上下縁部の面取り部の面取り幅が前記外周上下縁部の面取り部の面取り幅よりも大であるようにしたことを特徴とする石英ガラス製ウェーハ支持治具。
(a)原料石英ガラス体から円環状支持板を切り出す工程、
(b)切り出された円環状支持板をアニール処理する第1アニール工程、
(c)該円環状支持板の厚さを調整するための加工を行う工程、
(d)該円環状支持板の上下両面を精密研磨する工程、
(e)該円環状支持板の外周上下縁部及び内周上下縁部に対して面取り加工を行う工程、
(f)該円環状支持板の上面に複数個のウェーハ支持突起を溶接する工程、
(g)複数本の支柱に所定のウェーハ載置間隔をおいて上下方向に多数の該円環状支持板を溶接によって取り付けしウェーハ支持治具を形成する工程、
(h)形成したウェーハ支持治具をアニール処理する第2アニール工程。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, C03B 20/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, C03B 20/00 K
, H01L 21/205
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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ウェーハ支持装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-093224
出願人：住友シチックス株式会社
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特開平1-238023
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ウェハ支持体及び縦型ボート
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-129716
出願人：住友金属工業株式会社
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