センサ洗浄方法、センサ洗浄装置、測定方法及び測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：早川誠志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-280065
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099805
特許番号：特許第4441019号
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】センサを所定時間洗浄する洗浄段階と、所定時間洗浄したセンサによって基準となる測定対象を測定する測定段階と、前記基準となる測定対象に対する測定値が予め設定された許容範囲内にあるか否かを判定する判定段階とを含み、前記基準となる測定対象に対する測定値が前記許容範囲内に入るまで前記洗浄段階から判定段階までを繰り返すことを特徴とするセンサ洗浄方法。

IPC (3件)：