特許
J-GLOBAL ID:201103065253554515

電子部品検査装置用測定プローブのクリーニング方法及びこれを用いる電子部品検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-007453
公開番号(公開出願番号):特開2002-214295
特許番号:特許第4438229号
出願日: 2001年01月16日
公開日(公表日): 2002年07月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】 電子部品検査装置が備える測定プローブをクリーニングする方法であって、 クリーニングされる測定プローブと、アーク発生用部材とをクリーニング用電源装置に接続した後、該測定プローブと前記アーク発生用部材とを互いが短絡する状態と開放する状態との間で移行させて、 前記測定プローブの先端と前記アーク発生用部材との間でクリーニング用の電気的アークを発生させることにより前記測定プローブの先端をクリーニングする電子部品検査装置用測定プローブのクリーニング方法において、 前記クリーニング用電源装置は直流電源であるとともに、 前記測定プローブと前記アーク発生用部材とのうち一方を前記直流電源の正極に接続し、他方を前記直流電源の負極に接続して前記測定プローブと前記アーク発生用部材とを接近させることにより前記クリーニング用の電気的アークを発生させ、前記測定プローブの端子材と前記アーク発生用部材の金属材とのうち前記正極に接続した一方を電離させて前記負極に接続した他方へ付着させることにより、前記測定プローブの前記クリーニングを行う、ことを特徴とする電子部品検査用測定プローブのクリーニング方法。
IPC (3件):
G01R 31/28 ( 200 6.01) ,  G01R 1/06 ( 200 6.01) ,  G01R 31/16 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01R 31/28 K ,  G01R 1/06 Z ,  G01R 31/16
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (20件)
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