レンズの評価方法、レンズの評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：青山葆 , 山田卓二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287868
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108575
特許番号：特許第3574765号
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(a)レンズから出射された光を回折格子で回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程と、(b)上記回折格子を上記回折格子に形成された格子溝と直交する方向に移動させて上記回折光の位相を変化させる工程と、(c)上記シェアリング干渉像において、上記2つの回折光の光軸を結ぶ中点を通らず、上記2つの光軸を結ぶ直線と垂直な線分上の、複数の測点で、光強度変化の位相を求める工程と、(d)上記測点位置をY、上記位相をφとしたとき、上記位相φを測定位置Yの2次関数または3次関数で近似し、該関数の2次の係数値で上記レンズの球面収差を評価する工程とを有することを特徴とするレンズ評価方法。

IPC (1件)：