レンズ評価方法およびレンズ評価装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-298184
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116655
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】 5次の球面収差、7次の球面収差を高速に検出する。【解決手段】レンズの評価方法は、(a)レンズから出射された光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程と、(b)上記回折光の位相を変化させる工程と、(c)上記シェアリング干渉像において、上記2つの回折光の光軸を結ぶ中点を通らず、上記2つの光軸を結ぶ直線と垂直な線分上の、複数の測点で、光強度変化の位相を求める工程と、(d)上記測点位置をY、上記位相をφとしたとき、上記位相φを測定位置Yの4次関数または5次関数で近似し、該関数の4次の係数値で上記レンズの5次の球面収差を評価する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

(a)レンズから出射された光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程と、(b)上記回折光の位相を変化させる工程と、(c)上記シェアリング干渉像において、上記2つの回折光の光軸を結ぶ中点を通らず、上記2つの光軸を結ぶ直線と垂直な線分上の、複数の測点で、光強度変化の位相を求める工程と、(d)上記測点位置をY、上記位相をφとしたとき、上記位相φを測定位置Yの4次関数または5次関数で近似し、該関数の4次の係数値で上記レンズの5次の球面収差を評価する工程とを有することを特徴とするレンズ評価方法。

IPC (3件)：

G01M 11/02 , G01M 11/00 , G01B 11/255

FI (3件)：

G01M 11/02 B , G01M 11/00 L , G01B 11/24 M

Fターム (16件)：

2F065AA00 , 2F065AA53 , 2F065BB22 , 2F065CC22 , 2F065FF01 , 2F065FF48 , 2F065FF53 , 2F065GG05 , 2F065HH03 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL09 , 2F065LL42 , 2F065QQ17 , 2F065QQ25 , 2G086HH06

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開昭61-286710
収差測定機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-353755 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-298106

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