特許
J-GLOBAL ID：201103065757649258
ディスク表面欠陥検査装置における判定方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 義仁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-244530
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066263
特許番号：特許第3732980号
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザー光をディスク表面に照射して該表面を走査する投光手段と、該表面に存在する欠陥による前記レーザー光の反射または散乱光を受光するための複数の受光手段とを備え、前記受光手段のうち少なくとも1つの所定の受光手段は円周方向に延びて生じる特定種類の欠陥を検出するためのものであり、他の受光手段は他の種類の欠陥を検出するためのものであるディスク表面欠陥検査装置において、前記特定種類の欠陥を判定するための方法であって、
前記所定の受光手段で検出された欠陥が円周方向に所定長以上で延びているかどうかで前記特定種類の欠陥の可能性を判定する第1のステップと、
前記複数の受光手段で複数種類の欠陥が同時に検出された場合は、所定の優先判定基準に従い前記特定種類の欠陥の可能性を判定する第2のステップと、
前記所定の受光手段で検出された複数の欠陥が連続する1つの欠陥に該当するかどうかを判定する第3のステップと、
連続性判定済みの欠陥の半径方向の幅サイズが所定の基準値以下であるか否かを判定し、該欠陥の半径方向の幅サイズが該所定の基準値以下であるならば前記特定種類の欠陥の可能性があると判定する第4のステップと
を具え、各ステップの判定結果が所定条件を満たしているとき前記特定種類の欠陥であると判定することを特徴とする判定方法。
IPC (2件)：
G01N 21/95 ( 200 6.01)
, G01B 11/30 ( 200 6.01)
G01N 21/95 A
, G01B 11/30 A
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
