照明光学装置及びそれを用いた露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松永宣行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-353067
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151894
特許番号：特許第3984821号
出願日： 2001年11月19日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源からの光を、スリットによることなく光の進路を変更することにより、被照射面を円弧状に照射する光に変換する変換光学装置を含み、前記変換光学装置は、円柱の一部をなす凸曲面を有しかつ前記光源からの光を前記円柱の母線と平行の線状に集束させる集光レンズを有する集光装置を備える発散装置であって前記光を所定の面内で発散する発散光に変換する発散装置と、内面の少なくとも1部に反射面が形成された円錐ミラーであって前記発散光の少なくとも一部を前記反射面で受けて円弧状の光として反射する位置に前記円錐ミラーの中心軸線が前記所定の面に垂直になるように配置された円錐ミラーを備える反射装置とを含む、照明光学装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) , G02B 27/09 ( 200 6.01) , G02B 19/00 ( 200 6.01) , G03F 7/20 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 21/30 515 D , G02B 27/00 E , H01L 21/30 527 , G02B 19/00 , H01L 21/30 518 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (10件)

円弧状暗視野照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225745 出願人：日本電気株式会社
照明光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-263643 出願人：ミノルタカメラ株式会社
露光照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-177235 出願人：ソニー株式会社

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