特許
J-GLOBAL ID:201103066227808599

照射光振分機構およびそれを備えた装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 磯野 道造
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-319343
公開番号(公開出願番号):特開2002-131921
特許番号:特許第4472151号
出願日: 2000年10月19日
公開日(公表日): 2002年05月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光源部から照射された紫外線を含む光を、反射させる複数枚の反射鏡と、これらの反射鏡の角度を、それぞれ所定角度に固定した状態で保持する保持部と、この保持部を所定位置に移動する移動手段と、を備えることを特徴とする照射光振分機構。
IPC (2件):
G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H05K 3/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00 H
引用特許:
出願人引用 (6件)
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