特許
J-GLOBAL ID:201103066227808599
照射光振分機構およびそれを備えた装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
磯野 道造
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-319343
公開番号(公開出願番号):特開2002-131921
特許番号:特許第4472151号
出願日: 2000年10月19日
公開日(公表日): 2002年05月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】 光源部から照射された紫外線を含む光を、反射させる複数枚の反射鏡と、これらの反射鏡の角度を、それぞれ所定角度に固定した状態で保持する保持部と、この保持部を所定位置に移動する移動手段と、を備えることを特徴とする照射光振分機構。
IPC (2件):
G03F 7/20 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
G03F 7/20 501
, H05K 3/00 H
引用特許:
出願人引用 (6件)
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露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-343971
出願人:有限会社岡本技研
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両面露光装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-345272
出願人:有限会社岡本技研
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特開昭63-021649
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