特許
J-GLOBAL ID：201103066286626780

ペリクルフレームへ気圧調整孔用フィルターを貼付する装置及び方法

発明者：
関原 一敏

関原 一敏 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166513
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357893
特許番号：特許第4444528号
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 セパレーター上に貼付されている気圧調整孔用フィルターをペリクルフレームに貼付する貼付装置であって、 セパレーター上に貼付されているフィルターの端部を剥離させる剥離手段と、 端部が剥離されたフィルターの位置を検出する検出手段と、 フィルターを保持する為の保持手段と、 保持手段を移動させる為の移動手段を備え、 以下の(1)〜(7)の段階を順次行うように構成されていることを特徴とする貼付装置。 (1)セパレーター上に貼付されているフィルターの端部を剥離手段によって剥離する段階。 (2)端部が剥離されたフィルターの位置を検出手段によって検出する段階。 (3)(2)の段階で検出された位置に、保持手段を移動手段によって移動させる段階。 (4)端部が剥離されたフィルターを保持手段に保持する段階。 (5)保持手段を移動手段によって移動させることにより、フィルターをセパレーターから完全に取り外す段階。 (6)保持手段をペリクルフレームの所定の位置に移動手段によって移動する段階。 (7)保持手段が移動手段によってペリクルフレームに押圧されることにより、保持手段が保持しているフィルターがペリクルフレームに貼付される段階。
IPC (2件)：
G03F 1/14 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G03F 1/14 K ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 503 G
引用特許：
審査官引用 (11件)
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