光強度スロープ計算方法、光強度ログスロープ計算方法およびこれらの計算方法を記述したプログラムを記録した情報記録媒体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山下穣平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335789
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155987
特許番号：特許第3343910号
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】フォトマスクからの光を光学系を介して投影対象に投影するときの投影像の光強度スロープ計算方法において、前記光学系の特性を表す特性関数を計算し、該特性関数を矩形領域、水平方向の帯領域、及び垂直方向の帯領域で積分した各テーブルを作成し、これらのテーブルを使って光強度スロープを求めることを特徴とする光強度スロープ計算方法。

IPC (2件)：