特許
J-GLOBAL ID：201103066899885141

プラズマ処理システムにおいてエンドエフェクタのアラインメントを校正するためのシステムおよび方法

発明者：
アレンブランチェッテ・クリスティーヌ

アレンブランチェッテ・クリスティーヌ について

, 
ロドニック・マット

ロドニック・マット について


出願人/特許権者：
ラム リサーチ コーポレーション

ラム リサーチ コーポレーション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-540807
公開番号（公開出願番号）：特表2011-508453
出願日： 2008年12月19日
公開日（公表日）： 2011年03月10日
要約：
【課題】プラズマ処理システムにおいてエンドエフェクタのアラインメントを校正するためのシステムおよび方法【解決手段】プラズマ処理システムにおいてチャックに対するエンドエフェクタのアラインメントを校正するための方法が提供される。方法は、エンドエフェクタをチャックの上に位置決めすることと、チャックおよびエンドエフェクタの静止画像を撮影することとを含む。方法は、チャックの中心およびエンドエフェクタによって定められたエンドエフェクタ規定中心を決定するために静止画像を処理することを含む。方法は、エンドエフェクタ規定中心とチャックの中心との間の位置差を決定することを含む。方法は、また、エンドエフェクタがウエハを運ぶときにロボットメカニズムが位置差を調整するようにロボットメカニズムを制御するために、位置差をロボットコントローラに提供することも含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
プラズマ処理システムにおいてチャックに対するエンドエフェクタのアラインメントを校正するための方法であって、 前記エンドエフェクタを前記チャックの上に位置決めすることであって、前記チャックは、前記プラズマ処理システムの内側に配置され、前記プラズマ処理システムは、少なくとも1枚のウエハを、前記ウエハが前記チャック上に配された状態で処理するように構成される、ことと、 前記位置決め後に、前記チャックおよび前記エンドエフェクタの静止画像を撮影することと、 前記チャックの中心および前記エンドエフェクタによって定められるエンドエフェクタ規定中心を決定するために、前記静止画像を処理することと、 前記エンドエフェクタ規定中心と前記チャックの前記中心との間の位置差を決定することと、 前記エンドエフェクタが前記ウエハを運ぶときにロボットメカニズムが前記位置差を調整するように前記ロボットメカニズムを制御することを可能にするために、前記位置差をロボットコントローラに提供することと、を備える方法。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  G01B 11/00
FI (2件)：
H01L21/68 G ,  G01B11/00 H
Fターム (30件)：
2F065AA03 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065BB27 ,  2F065CC00 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065JJ03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP11 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA48 ,  5F031HA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA22 ,  5F031JA40 ,  5F031KA20 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031NA05 ,  5F031PA08 ,  5F031PA20 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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