特許

J-GLOBAL ID：201103068227119516

金属Cリングガスケットおよび金属ガスケットの製造方法

発明者： 柴田 秀史 ,  花島 完治 ,  窪 一郎 ,  和田 周一郎 ,  種元 雅人
出願人/特許権者： ニチアス株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185312
公開番号（公開出願番号）：特開2001-012609
特許番号：特許第3866882号
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】焼鈍後、バレル研磨を行った表面に、さらに電解研磨を行うことによって表面粗さが0.2μmRa以下、表面硬度が230Hv以下としたオーステナイト系ステンレス鋼でなることを特徴とする半導体製造装置用金属Cリングガスケット。

IPC (5件)：

F16J 15/08 ( 200 6.01) ,  B23H 3/00 ( 200 6.01) ,  B23H 9/00 ( 200 6.01) ,  C25F 3/16 ( 200 6.01) ,  C25F 3/24 ( 200 6.01)

FI (6件)：

F16J 15/08 A ,  F16J 15/08 C ,  B23H 3/00 ,  B23H 9/00 A ,  C25F 3/16 A ,  C25F 3/24

引用特許：

出願人引用 (4件)

• シール構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-253819   出願人：三菱電線工業株式会社
• 金属ガスケットの表面処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-083267   出願人：三菱電線工業株式会社
• メタルCリング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-186376   出願人：日本バルカー工業株式会社
• 金属中空Oリング及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-168479   出願人：日本バルカー工業株式会社, 飯田パッキン工業株式会社

審査官引用 (4件)

• シール構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-253819   出願人：三菱電線工業株式会社
• 金属ガスケットの表面処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-083267   出願人：三菱電線工業株式会社
• メタルCリング
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-186376   出願人：日本バルカー工業株式会社
• 金属中空Oリング及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-168479   出願人：日本バルカー工業株式会社, 飯田パッキン工業株式会社