特許
J-GLOBAL ID：201103068303355801
多層膜ラミナー型回折格子及び分光器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
堀 城之
, 前島 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-227488
公開番号（公開出願番号）：特開2011-075850
出願日： 2009年09月30日
公開日（公表日）： 2011年04月14日
要約：
【課題】広い波長帯域で使用できる多層膜ラミナー型回折格子を得る。【解決手段】この多層膜ラミナー型回折格子10における回折面には、低密度物質層と高密度物質層とが交互に積層された多層膜構造20が一様に形成されている。この多層膜構造20は、膜厚方向で複数(5つ)に階層化されており、上側から第1層21、第2層22、第3層23、第4層24、第5層25が順次形成されている。第1層21〜第5層25の各々が低密度物質層と高密度物質層で構成されるが、第1層21〜第5層25のそれぞれにおいて、多層膜の周期長(低密度物質層と高密度物質層の厚さ)が異なり、第1層21側(入射光が入射する側)でこの周期長が大きく、第5層25側(基板11側)でこの周期長が小さくなるように設定される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上の回折面において断面が矩形形状の複数の溝が配列して形成された回折格子構造が形成され、低密度物質層と、前記低密度物質層よりも密度が高い高密度物質層とが交互に周期的に積層されて形成された多層膜構造が前記回折面上に設けられ、前記回折面側に向かって入射する入射光を回折した回折光を出力する多層膜ラミナー型回折格子であって、
前記多層膜構造は、前記低密度物質層と前記高密度物質層が積層された周期長が均一でなく、所望波長域内の一波長の入射角、回折角が拡張ブラッグ条件を満たす周期長を持つ複数の階層から構成され、
当該複数の階層における前記周期長は、前記基板側で小さく、前記入射光が入射する側で大きくなるように設定されたことを特徴とする多層膜ラミナー型回折格子。
IPC (3件)：
G02B 5/18
, G01J 3/20
, G01J 3/18
G02B5/18
, G01J3/20
, G01J3/18
2G020AA06
, 2G020CC04
, 2G020CC05
, 2H249AA08
, 2H249AA18
, 2H249AA37
, 2H249AA41
, 2H249AA45
, 2H249AA51
, 2H249AA58
