特許
J-GLOBAL ID：200903011170882595
多層膜不等間隔溝凹面回折格子及び同分光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 小野 新次郎
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 桜井 周矩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-027872
公開番号（公開出願番号）：特開2008-191547
出願日： 2007年02月07日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：
【課題】数keVの軟X線領域において装置に入射する軟X線光に含まれる複数の所望の波長の光を分別し検出器または感光物質面に結像させうる多色計(ポリクロメータ)を提供する。【解決手段】被測定の軟X線光が多色計内に導入される入射スリットと回折格子表面の各点における入射光の方向の差異、及び回折格子表面が曲率を持つことによる入射光と回折格子表面の垂線方向の差異を利用し、回折格子表面の各点におけるローカルな入射角をエネルギー分解能に影響しない範囲において可能な限り変化するようにし、一定の光子エネルギー範囲内の入射光が回折格子面上のいずれかで回折格子の式及び拡張Bragg条件を同時に満たすように、入射スリットの位置、凹面回折格子の曲率半径、多層膜の構成物質、膜周期長などを決定する。また、子午面内の回折光がほぼ直線上に結像するように回折格子溝を不等間隔溝とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
回折格子溝が設けられた多層膜型凹面回折格子において、一点から入射する一定の波長範囲の光に対して最大回折効率が得られる様に、前記凹面回折格子の曲率半径、多層膜の膜周期長及び多層膜の平均屈折率を、回折格子表面上の各位置で入射光波長の一つに対して回折格子の回折条件及び拡張ブラッグ(Bragg)条件を同時に満足するようにした多層膜回折格子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2G020AA06
, 2G020CC05
, 2G020CC07
, 2G020CC42
, 2G020CC55
, 2G020CC62
, 2H049AA06
, 2H049AA17
, 2H049AA31
, 2H049AA61
, 2H249AA06
, 2H249AA17
, 2H249AA31
, 2H249AA61
