特許
J-GLOBAL ID：200903004331471535

多層膜不等間隔溝ラミナー型回折格子及び同分光装置

発明者：
小池 雅人

小池 雅人 について

, 
石野 雅彦

石野 雅彦 について

, 
森谷 直司

森谷 直司 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (11件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  桜井 周矩 ,  神田 藤博 ,  田中 英夫 ,  細川 伸哉 ,  深澤 憲広 ,  平山 晃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-319100
公開番号（公開出願番号）：特開2006-133280
出願日： 2004年11月02日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】多層膜を回折格子表面に形成して回折効率を増したい場合、(1)最大反射率が得られる溝深さ等の条件、(2)多層膜の拡張Bragg条件、(3)入射光と回折光の方向の相関を規定する条件式、(4)結像条件の4つの条件を満たす必要がある。これらの条件を一波長で満たすことは容易であるが、それでは単色計、写真機型分光器としては使用できない。【解決手段】本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、回折格子を用いた分光が効率の低下のため困難である波長0.2〜2nmの領域において、回折効率、分解能が共に高い回折格子及びそれを用いた分光装置を提供することにある。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
最大反射率が得られる多層膜の拡張Bragg条件、零次光が消滅し最大回折効率が得られる溝深さ及び山面の幅と格子定数の比の条件を同時に満足し、且つ溝間隔を不等間隔とした多層膜ラミナー型平面回折格子。
IPC (3件)：
G02B 5/18 ,  G01J 3/18 ,  G02B 5/32
FI (3件)：
G02B5/18 ,  G01J3/18 ,  G02B5/32
Fターム (13件)：
2G020AA06 ,  2G020CC04 ,  2G020CD27 ,  2H049AA03 ,  2H049AA34 ,  2H049AA53 ,  2H049AA58 ,  2H049AA64 ,  2H049AA69 ,  2H049CA05 ,  2H049CA09 ,  2H049CA15 ,  2H049CA24
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM