特許
J-GLOBAL ID:201103068908064710

X線装置及びX線測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 横川 邦明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-066531
公開番号(公開出願番号):特開2000-258364
特許番号:特許第3626965号
出願日: 1999年03月12日
公開日(公表日): 2000年09月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】試料にX線を照射してその試料から発生する回折X線を検出するX線露光部と、そのX線露光部で検出した回折X線を読み取るX線読取り部とを有するX線装置において、前記X線露光部は、単結晶物質によって形成されていて試料を支持する単結晶試料板と、その試料に向けてX線を放射するX線源と、その試料板の周りに配設された2次元X線検出器とを有し、前記X線読取り部は、前記2次元X線検出器内のデータを平面的に読み取って信号として出力するX線読取り手段と、そのX線読取り手段の出力信号に基づいて同一の回折角度に属するX線強度を積分して回折X線強度分布を演算によって求める演算手段と、前記単結晶試料板から出る回折X線が前記2次元X線検出器によって検出される座標位置を記憶する記憶手段とを有し、前記演算手段は、前記記憶手段によって記憶された前記単結晶試料板からの回折X線の座標位置を前記積分の対象から除外することを特徴とするX線装置。
IPC (1件):
G01N 23/207
FI (1件):
G01N 23/207
引用特許:
審査官引用 (4件)
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