特許
J-GLOBAL ID：201103069186648912
ボール転写装置およびボール整列装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
池田 憲保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-087643
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289635
特許番号：特許第3803556号
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板上の電極パッドにボールを転写するためのボール転写装置において、
基板上の電極パッドに対応する位置にボールを整列させるための整列孔が形成されているボール整列パレットと、
ボール整列パレットに形成された整列孔に対応して吸着孔が形成されているボール吸着プレートとを有し、
ボール整列パレットに整列されているボールをボール吸着プレートに吸着する際に、ボール吸着プレートによって整列孔を密閉して覆い、
ボール整列パレットには、前記整列孔の底部に貫通する吸引孔が設けられており、
ボール整列パレットは、前記吸引孔が前記整列孔に対して偏心されて配置されていることを特徴とするボール転写装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L 21/92 604 H
, H01L 21/92 604 Z
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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