研磨装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井島藤治 , 鮫島信重
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-354646
公開番号（公開出願番号）：特開2003-145419
特許番号：特許第4011892号
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被研磨物の研磨面を研磨する研磨テーブルと、前記被研磨物の研磨面を洗浄する洗浄手段と、前記被研磨物の研磨面を観察・計測する研磨面検出手段と、を備えた研磨装置において、前記研磨テーブルの研摩面と面一な上面を有し、前記上面に開口を有する穴が設けられ、更に、前記上面の前記開口の回りに排水溝が形成された計測テーブルを前記研磨テーブルに隣接して設け、前記洗浄手段は、前記穴を介して前記被研磨物の研磨面を洗浄し、洗浄後の洗浄液は前記排水溝を介して装置外へ排水され、前記研磨面検出手段は、前記穴を介して前記被研磨物の研磨面の観察・計測を行なうことを特徴とする研磨装置。

IPC (3件)：