表面検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-045337
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235424
特許番号：特許第3531002号
出願日： 2000年02月23日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】投光部と受光部と信号処理部と疵種判定部を有し、投光部は被検査面に偏光を入射し、受光部は少なくとも3方向の異なる角度の偏光を受光する複数の受光光学系を有し、被検査面で反射した反射光を検出して画像信号に変換し、信号処理部は各受光光学系から出力された画像信号について、正常部が全階調の中心輝度になるように正規化し、正規化された光強度信号のそれぞれについて、正常部を示す全階調の中心レベルを基準にして、正極性と負極性に対してあらかじめ定められた閾値を超える領域を疵候補領域として抽出し、抽出された疵候補領域の幅と長さと、複数の受光光学系についての疵部の濃度ピーク値並びに抽出された正極性と負極性における疵候補領域内における閾値を超える信号の積分値である濃度積算値の極性の組み合わせパターンを特徴量として検出し、疵種判定部は検出された疵の幅と長さと、濃度ピーク値並びに濃度積算値の極性の組み合わせパターンから疵の種類を判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/89 , G01B 11/30 , G01N 21/892

FI (3件)：

G01N 21/89 H , G01B 11/30 A , G01N 21/892 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-284580 出願人：日本鋼管株式会社
表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-297897 出願人：日本鋼管株式会社
表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-297894 出願人：日本鋼管株式会社

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