特許
J-GLOBAL ID：201103070657664903
微細構造体及び微細構造体の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
天野 一規
, 藤本 勝誠
, 藤井 康輔
, 池田 義典
, 宮崎 悟
, 小川 博生
, 加藤 早苗
, 奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-051470
公開番号（公開出願番号）：特開2011-184241
出願日： 2010年03月09日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
【課題】構造体自体の更なる小型化を可能とし、耐久性に優れたガラス製の微細構造体を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、一方の面に開口する一又は複数の筒状の微細空間を有する微細構造体であって、上記一又は複数の微細空間を区画する隔壁の平均厚さ(T)が20μm以上350μm以下であり、基材としてガラス焼結体が用いられていることを特徴とする。上記一又は複数の微細空間の深さ(D)の隔壁の平均厚さ(T)に対するアスペクト比(D/T)としては2以上25以下が好ましい。上記ガラス焼結体が、ガラス粒子とそのバインダーとしてのシリコーン樹脂とを含む組成物の焼成により形成されているとよい。また、上記ガラス焼結体が、ガラス粒子とガラス粒子間の結合材とからなり、この結合材が主成分としてケイ素酸化物を含むとよい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一方の面に開口する一又は複数の筒状の微細空間を有する微細構造体であって、
上記一又は複数の微細空間を区画する隔壁の平均厚さ(T)が20μm以上350μm以下であり、
基材としてガラス焼結体が用いられていることを特徴とする微細構造体。
IPC (4件)：
C03B 19/06
, G01N 37/00
, B81B 1/00
, B81C 99/00
C03B19/06 B
, G01N37/00 101
, B81B1/00
, B81C5/00
3C081BA03
, 3C081BA05
, 3C081BA23
, 3C081CA39
, 3C081DA06
, 3C081EA28
, 3C081EA29
