特許
J-GLOBAL ID：201103070976363541
エッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 孝吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-125090
公開番号（公開出願番号）：特開2011-251352
出願日： 2010年05月31日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
要約：
【課題】単一の研磨ヘッドでリムリングの径と幅を可変とし、また最外周部のリングは局所加圧を行うゾーンリングとして研磨対象ウェーハのエッジ形状を効率よくコントロール可能とするエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッドを提供することを目的とする。 【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、バックプレート20下面に、圧力エア層19の外周部を形成するためのリムリングの複数個21a〜21cをバックプレート20下面に対し各別に進退自在で且つ常時後退傾向を付与して同心状に連設し、複数個のリムリング21a〜21cのうちのいずれかもしくは相隣るリムリングの複数個をバックプレート20下面から突出させることによりリムリングの径及び/又は幅を可変としてウェーハWのエッジ研磨形状をコントロール可能に構成したエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッドを提供するものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェーハを、該ウェーハの裏面とバックプレート下面との間に形成した圧力エア層を介してプラテン上の研磨パッドに押し付け、前記プラテンに対し相対回転させて前記ウェーハを研磨するエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッドであって、
前記バックプレート下面に、前記圧力エア層の外周部を形成するためのリムリングの複数個を前記バックプレート下面に対し各別に進退自在で且つ常時後退傾向を付与して同心状に連設し、前記複数個のリムリングのうちのいずれかもしくは相隣るリムリングの複数個を前記バックプレート下面から突出させることにより前記リムリングの径及び/又は幅を可変としてウェーハのエッジ研磨形状をコントロール可能に構成したことを特徴とするエッジ研磨形状コントロール可能エアフロート研磨ヘッド。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 37/00
, H01L 21/304
B24B37/04 N
, B24B37/00 B
, H01L21/304 622K
3C058AB04
, 3C058BA02
, 3C058BA05
, 3C058BB04
, 3C058BC01
, 3C058CA05
, 3C058CB01
, 3C058DA17
, 5F057AA02
, 5F057BA11
, 5F057CA11
, 5F057DA02
, 5F057FA18
, 5F057FA19
, 5F057GA02
