単結晶引上げ装置用輻射シールド交換装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：波多野久 , 関口俊三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-122892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313594
特許番号：特許第4384287号
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】移動可能に設けられた装置基台に立設された柱状の装置本体と、この装置本体に昇降自在に取付けられた昇降部材と、この昇降部材を装置本体に沿い昇降させる駆動機構と、前記昇降部材に設けられたシールド受体と、このシールド受体に取付けられ単結晶引上げ装置に使用される輻射シールドの外周面に当接する複数個の受け部材とを有し、上記装置本体には、この装置本体から延伸し、輻射シールドを収納する単結晶引上げ装置のトップチャンバの外周面に当接するストッパ機構が設けられたことを特徴とする単結晶引上げ装置用輻射シールド交換装置。

IPC (2件)：