セラミック製搬送アーム及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-246648
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077171
特許番号：特許第4189093号
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】長尺状セラミック板の一方の主面先端に物品を載せる載置面を有するセラミック製搬送アームにおいて、前記長尺状セラミック板の他方の主面における表面粗度が、算術平均粗さ(Ra)で0.5μm〜3.0μmの範囲で、前記一方の主面における表面粗度より粗くされ、前記一方の主面が、自重による撓みが発生していない状態で凹に反っていることを特徴とするセラミック製搬送アーム。

IPC (2件)：