特許
J-GLOBAL ID：201103071515303241

両面同時研削装置および両面同時研削方法

発明者：
池田 俊一

池田 俊一 について

, 
加藤 忠弘

加藤 忠弘 について


出願人/特許権者：
信越半導体株式会社

信越半導体株式会社 について

, 
直江津電子工業株式会社

直江津電子工業株式会社 について

, 
長野電子工業株式会社

長野電子工業株式会社 について

, 
三益半導体工業株式会社

三益半導体工業株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248399
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071272
特許番号：特許第3794538号
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】カップ型砥石を用いたインフィード型の両面同時研削装置において、砥石の形状が全円周砥石でかつ砥石部の内周および/または外周に凹部を設けた歯車形砥石であるカップ型砥石と、両面同時研削中の板状被加工物の中心部を冷却する手段とを具備することを特徴とする両面同時研削装置。
IPC (4件)：
B24D 7/00 ( 200 6.01) ,  B24B 7/17 ( 200 6.01) ,  B24D 3/00 ( 200 6.01) ,  B24D 7/10 ( 200 6.01)
FI (5件)：
B24D 7/00 Z ,  B24D 7/00 P ,  B24B 7/17 Z ,  B24D 3/00 350 ,  B24D 7/10
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (4件)
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