特許
J-GLOBAL ID:201103072302203533
水晶振動子
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-055011
公開番号(公開出願番号):特開2002-261574
特許番号:特許第4211886号
出願日: 2001年02月28日
公開日(公表日): 2002年09月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】いずれもATカットからなる振動子用水晶片とエッチングによる貫通孔が設けられた補強板とを接合してなる水晶振動子において、前記補強板の貫通孔は前記エッチングによって一主面の径が他主面の径よりも大きくて内周面の少なくても一部を傾斜面として、前記振動子用水晶片と前記補強板における貫通孔の径が小さい他主面とが直接接合され、前記貫通孔側及び外表面側となる前記振動子用水晶片の両主面に励振電極が形成され、前記貫通孔側の励振電極と接続する引出電極が前記貫通孔の傾斜面に形成されるとともに前記傾斜面は前記補強板のZ′軸方向における前記貫通孔の内側面の一方に有することを特徴とする水晶振動子。
IPC (2件):
H03H 9/19 ( 200 6.01)
, H03H 3/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
H03H 9/19 A
, H03H 3/02 B
引用特許:
審査官引用 (10件)
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圧電デバイスの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-116699
出願人:松下電器産業株式会社
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水晶振動子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-202631
出願人:日本電波工業株式会社
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特開平3-137100
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特開平1-179513
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特開平3-137100
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特開平1-179513
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圧電デバイスおよびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-136897
出願人:松下電器産業株式会社
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圧電振動素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-142517
出願人:松下電器産業株式会社
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特開平3-137100
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特開平1-179513
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