特許
J-GLOBAL ID：201103072368842596

角速度センサ

発明者：
田村 昌弥

田村 昌弥 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-010228
公開番号（公開出願番号）：特開2002-213962
特許番号：特許第4635345号
出願日： 2001年01月18日
公開日（公表日）： 2002年07月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうち振動発生手段によってX軸方向に振動する第1の質量部と、該第1の質量部を挟んでY軸方向の両側に設けられ振動発生手段によって該第1の質量部と逆位相でX軸方向に振動する第2の質量部と、前記第1の質量部を第3の質量部を介してX軸方向に変位可能に連結すると共に前記第2の質量部を第4の質量部を介してX軸方向に変位可能に連結するX軸方向支持梁と、該X軸方向支持梁と前記基板との間に設けられ該X軸方向支持梁を前記基板に接続する固定部と、前記第1の質量部と前記第3の質量部との間に設けられ該第1の質量部をY軸方向に変位可能に支持するY軸方向支持梁と、前記第2の質量部と前記第4の質量部との間に設けられ前記第2の質量部をZ軸方向に変位可能に支持するZ軸方向支持梁と、前記第1の質量部に角速度が作用するときに前記第1の質量部がY軸方向に変位する変位量をZ軸周りの角速度として検出する第1の検出手段と、前記第2の質量部に角速度が作用するときに前記第2の質量部がZ軸方向に変位する変位量をY軸周りの角速度として検出する第2の検出手段とを備え、 前記固定部はX軸方向支持梁のうち前記第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とが互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を前記基板に接続する構成としてなる角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ( 200 6.01) ,  G01P 9/04 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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