特許
J-GLOBAL ID:201103073198389073
ラインセンサーカメラを用いたX線検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
安形 雄三
, 五十嵐 貞喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-008689
公開番号(公開出願番号):特開2011-149701
出願日: 2010年01月19日
公開日(公表日): 2011年08月04日
要約:
【課題】高価な位置決め機構や複数式の検査機器を用いることなく、感度・鮮鋭度の高い画像を取得できると共に、搬送される被検査物の内部部位の寸法を高精度で測定可能なX線検査装置を提供する。【解決手段】X線発生手段と、X線を感知できるCCD素子を被検査物の進行方向と直交する方向に1ライン配列すると共に進行方向に2列以上配列し、各列のCCD素子により、搬送される被検査物を繰り返し露光して取得した像を一列ずつシフトながら重ね合せて被検査物のX線透過像を出力するラインセンサーカメラを有する撮像手段と、被検査物を前記進行方向に搬送すると共に、撮像手段が1ライン単位で各列のCCD素子の電荷を転送して読み出す際の電荷転送速度に合わせた搬送速度で被検査物を搬送する搬送手段と、撮像手段から出力されるX線透過像に基づいて被検査物の内部を含む所定の検査対象部位の寸法を測定する寸法測定手段と、を備えた構成とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
搬送される被検査物を対象として、X線を用いて前記被検査物の内部を検査するX線検査装置であって、
前記被検査物に対してX線を発生するX線発生手段と、
X線を感知できるCCD素子を前記被検査物の進行方向と直交する方向に1ライン配列すると共に前記進行方向に2列以上配列し、該進行方向に配列された各列のCCD素子により前記搬送される被検査物を繰り返し露光して取得した像を一列ずつシフトながら重ね合せて前記被検査物のX線透過像を出力するラインセンサーカメラを有する撮像手段と、
前記被検査物を前記進行方向に搬送すると共に、前記撮像手段が前記1ライン単位で前記各列のCCD素子の電荷を転送して読み出す際の電荷転送速度に合わせた搬送速度で前記被検査物を搬送する搬送手段と、
前記撮像手段から出力される前記X線透過像に基づいて前記被検査物の内部を含む所定の検査対象部位の寸法を測定する寸法測定手段と、
を備えたことを特徴とする、ラインセンサーカメラを用いたX線検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (35件):
2F067AA21
, 2F067AA25
, 2F067BB12
, 2F067CC08
, 2F067CC14
, 2F067CC15
, 2F067HH04
, 2F067JJ03
, 2F067KK06
, 2F067LL03
, 2F067NN03
, 2F067PP15
, 2F067QQ01
, 2F067QQ13
, 2F067SS02
, 2F067SS03
, 2F067SS13
, 2F067TT08
, 2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA08
, 2G001DA10
, 2G001GA06
, 2G001HA13
, 2G001HA20
, 2G001JA09
, 2G001JA13
, 2G001JA16
, 2G001KA03
, 2G001KA11
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA11
, 2G001SA10
引用特許:
出願人引用 (7件)
-
特開平4-319610
-
X線検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-340634
出願人:アンリツ産機システム株式会社
-
マスク検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-360924
出願人:伊藤稔, 株式会社ホロン
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審査官引用 (7件)
-
特開平4-319610
-
X線検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-340634
出願人:アンリツ産機システム株式会社
-
マスク検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-360924
出願人:伊藤稔, 株式会社ホロン
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