特許
J-GLOBAL ID：201103074682505750
保持パッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-204003
公開番号（公開出願番号）：特開2011-051074
出願日： 2009年09月03日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】保持面の平坦性精度を高め被研磨物の面内均一性を向上させることができる保持パッドを提供する。【解決手段】保持パッド10は、湿式凝固法により形成され保持面Shを有するウレタンシート2を備えている。ウレタンシート2には、スキン層2aが形成されており、スキン層2aより内側に多数の発泡4が形成されている。発泡4は、ウレタンシート2の厚みのほぼ全体にわたる大きさを有している。発泡4は、ウレタンシート2の下部層Prでの孔径が上部層Phでの孔径より大きく形成されている。発泡4は、上部層Phでの発泡形成方向が厚み方向に対して一定方向に一様に傾斜するように形成されており、下部層Prでの発泡形成方向が厚み方向に沿うように形成されている。研磨加工時の圧縮で被研磨物に対する応力が均等化される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
湿式凝固法により厚み全体にわたる大きさの多数の縦型発泡が形成され被研磨物を保持するための保持面を有する樹脂シートを備えた保持パッドにおいて、前記発泡は、前記樹脂シートの厚み方向中央部から前記保持面側の発泡端部までの発泡形成方向が前記厚み方向に対して一定方向に一様に傾斜するように形成されていることを特徴とする保持パッド。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 41/06
, H01L 21/304
B24B37/04 L
, B24B41/06 L
, H01L21/304 622G
3C034AA13
, 3C034AA19
, 3C034BB71
, 3C034DD08
, 3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058CB02
, 3C058CB10
, 3C058DA17
