特許
J-GLOBAL ID：201103074762048806
ウェーハの研磨装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-008273
公開番号（公開出願番号）：特開2002-264010
特許番号：特許第3500375号
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 保持プレートに保持されたウェーハの被研磨面を、定盤の研磨面に所定の押圧力で押圧し、前記ウェーハと定盤とを相対的に運動させてウェーハの被研磨面に研磨を施すウェーハの研磨装置において、該ウェーハを保持する保持面が定盤の研磨面に対向するように、前記保持プレートが収容される凹部が形成されたヘッド部材と、力の加えられる方向によって伸長の程度を異にする布帛状の補強材で補強されて伸長の程度が調整された、前記ヘッド部材の凹部内に収容する方向に前記保持プレートを付勢して吊持する弾性シートと、前記弾性シートと前記ヘッド部材の凹部の底面との間に形成され、前記保持プレートを弾性シートの付勢力に抗して定盤方向に押し出す圧力流体が貯留される空間部とを具備し、前記弾性シートが、その布帛状の補強材が呈する伸長の方向性により、力の加えられる方向によって伸長の程度を異にする弾性シートであって、前記ウェーハの研磨の際に、前記弾性シートの伸長の方向性に起因して発生する保持プレートの前記凹部の径方向への移動を防止し得るように、前記保持プレートの外周面とヘッド部材の凹部の内周面との間に、前記外周面と内周面との両面に同時に点接触する複数個の球体が、互いに隣接する球体と接触して前記外周面及び内周面に沿って配設されていることを特徴とするウェーハの研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 622
B24B 37/04 E
, H01L 21/304 622 G
