特許
J-GLOBAL ID：201103075038550741

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びそれを用いたパターン形成方法

発明者：
渋谷 明規

渋谷 明規 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (17件)： 蔵田 昌俊 ,  高倉 成男 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  井関 守三 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-064695
公開番号（公開出願番号）：特開2011-248332
出願日： 2011年03月23日
公開日（公表日）： 2011年12月08日
要約：
【課題】 LWR、パターン倒れ性能及びDOFに優れた感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】 本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、(A)下記一般式(I)により表される部分構造を備えた繰り返し単位を含み、且つ、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂と、(B)プロトンアクセプター性官能基を有し、且つ、活性光線又は放射線の照射により分解して、プロトンアクセプター性が低下、消失、又はプロトンアクセプター性から酸性に変化した化合物を発生する化合物(PA)と、(C)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有し、前記樹脂の前記組成物の全固形分に対する含有率は50質量%以上である。【化1】 式中、R13は、水素原子、アルキル基又はシクロアルキル基を表す。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(I)により表される部分構造を備えた繰り返し単位を含み、且つ、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂と、 (B)プロトンアクセプター性官能基を有し、且つ、活性光線又は放射線の照射により分解して、プロトンアクセプター性が低下、消失、又はプロトンアクセプター性から酸性に変化した化合物を発生する化合物(PA)と、 (C)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と を含有した感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、 前記樹脂の前記組成物の全固形分に対する含有率は50質量%以上である感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C08F 20/22 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 504 ,  G03F7/004 501 ,  C08F20/22 ,  H01L21/30 502R
Fターム (67件)：
2H125AF16P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF21P ,  2H125AF26P ,  2H125AF27P ,  2H125AF35P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH11 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AJ69Y ,  2H125AJ82Y ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AL22 ,  2H125AM66P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN64P ,  2H125AN65P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA03P ,  4J100BA11Q ,  4J100BB18P ,  4J100BC04S ,  4J100BC09R ,  4J100BC53Q ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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