特許
J-GLOBAL ID：201103075909010466

超音波検査装置

発明者：
唐沢 博一

唐沢 博一 について

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中本 正幸

中本 正幸 について

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落合 誠

落合 誠 について

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福田 勝義

福田 勝義 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-348282
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149213
特許番号：特許第4087098号
出願日： 2001年11月14日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板と、 前記基板上に形成された半導体集積回路と、 前記基板の裏面側に形成された共通電極と、 前記共通電極上にマトリクス状に独立して複数形成された圧電体層と、 前記圧電体層上にそれぞれ形成された複数の上部電極とを具備し、 前記圧電体層は、チタン酸バリウムまたはジルコン酸チタン酸鉛を有し、かつ、厚さが0.1μmないし100μmである超音波トランスデューサと、 針状構造を有する複数の接触端子と、 前記接触端子に接続され、前記接触端子のうち任意のものから駆動電圧を発生させるための駆動部と、 前記接触端子に接続され、前記発生させられた駆動電圧を原因として検査対象から前記接触端子に返信される電気信号を前記複数の接触端子から検出する検出部と、 前記検出された電気信号と前記任意の接触端子の位置とから前記検査対象の状態を可視化する処理を行なう処理部とを具備する検査装置とを備え、 前記検査装置の前記接触端子は、前記超音波トランスデューサの前記上部電極にそれぞれ対応して設けられていること を特徴とする超音波検査装置。
IPC (2件)：
G01N 29/06 ( 200 6.01) ,  G01N 29/24 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01N 29/06 ,  G01N 29/24 502
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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