特許

J-GLOBAL ID：201103078084387587

除電機能付き熱処理装置

発明者： 梶山 利治 ,  山本 稔 ,  鋒 治幸 ,  石川 昌義
出願人/特許権者： エスペック株式会社 ,  原田産業株式会社 ,  浜松ホトニクス株式会社
代理人 (2件)： 鳥巣 実 ,  細見 吉生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008455
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203134
特許番号：特許第3902370号
出願日： 2000年01月18日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 熱処理室と空調室を備え、前記熱処理室内に多数の平板状物品を間隔をあけてほぼ平行に支持し、前記空調室内に加熱器と送風機とを設けて前記平板状物品の間隙に加熱空気または冷却空気を送風して熱処理を行う熱処理装置であって、 前記熱処理室および前記空調室は断熱壁により囲繞されるとともに、前記熱処理室に、シャッターで開閉されるワーク出し入れ用のスリット状の開口を断熱壁の一部分に設け、 前記熱処理室に隣接して機械室を配置し、前記熱処理室と機械室とを仕切るとともに、熱処理室と機械室との仕切り壁に開口を設けて軟X線を透過可能で、かつ加熱空気または冷却空気を遮断するとともに断熱効果を有する遮蔽部材を嵌め込み、前記機械室内に軟X線照射装置を設け、この軟X線照射装置により前記遮蔽部材を通して前記熱処理室内の加熱空気流または冷却空気流に対し軟X線を照射するように構成し、加熱空気または冷却空気によってワークを熱処理すると同時に、加熱空気中または冷却空気中にイオンを生成させてワークを除電するようにしたことを特徴とする除電機能付き熱処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ( 200 6.01) ,  G21K 5/02 ( 200 6.01) ,  G21K 5/10 ( 200 6.01) ,  H05F 3/06 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/02 Z ,  G21K 5/02 X ,  G21K 5/10 F ,  H05F 3/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 平板状ワークを無風加熱できる熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-287719   出願人：タバイエスペック株式会社
• 露光描画装置および露光描画装置における除電方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-048530   出願人：大日本印刷株式会社
• 軟X線を利用した除電装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-181639   出願人：シシド静電気株式会社, 浜松ホトニクス株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-018750   出願人：大日本スクリーン製造株式会社