スパッタリングターゲット

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248253
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059168
特許番号：特許第3993721号
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】実質的にインジウム、スズおよび酸素からなるITO焼結体からなるターゲット部材を、台状の突出部分を有するバッキングプレートの突出部分に接合剤により接合してなるITOスパッタリングターゲットにおいて、前記ターゲット部材の接合部を含む面の面積が、バッキングプレート上の突出部分により形成される接合面の面積より大きいことを特徴とするスパッタリングターゲット。

IPC (1件)：