特許
J-GLOBAL ID：201103079624885642

電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置

発明者：
常田 るり子

常田 るり子 について

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高口 雅成

高口 雅成 について

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長沖 功

長沖 功 について

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小林 弘幸

小林 弘幸 について


出願人/特許権者：
株式会社日立製作所

株式会社日立製作所 について


代理人 (1件)： 井上 学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-138242
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331637
特許番号：特許第4069545号
出願日： 1999年05月19日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料に対して電子線を照射する照射系と、当該電子線照射による電子顕微像を検出して信号出力する検出器と、当該電子線像を該検出器に結像するための結像系とを備えた電子顕微鏡において、 前記照射系は、前記試料に入射する電子線の角度を第1の入射角度及び第2の入射角度に設定する角度偏向手段と、 前記第1の入射角度における電子顕微鏡像に対応する第1の画像信号および第2の入射角度における電子顕微鏡像に対応する第2の画像信号を処理する演算装置とを有し、 当該演算装置は、 前記第1の画像信号と第2の画像信号の位相差画像を求め、該位相差画像のフーリエ逆変換像またはフーリエ変換像に現れるピークの重心位置から第1の電子顕微鏡像と第2の顕微鏡像の位置ずれを計算し、 当該位置ずれから焦点ずれを計算し、 前記電子顕微鏡は、更に、当該焦点ずれを除去するために試料に対する解析された焦点位置を所定の焦点位置に補正する手段とを具備し、 当該焦点位置の補正手段は、前記ピークの強度が所定の下限値以下である場合には、前記焦点ずれの解析が不能と判断し前記焦点位置の補正を実行しないことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (6件)：
H01J 37/21 ( 200 6.01) ,  G01N 23/225 ( 200 6.01) ,  H01J 37/147 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  H01J 37/22 ( 200 6.01) ,  H01J 37/26 ( 200 6.01)
FI (6件)：
H01J 37/21 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/147 A ,  H01J 37/20 C ,  H01J 37/22 501 A ,  H01J 37/26
引用特許：
審査官引用 (14件)
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