特許
J-GLOBAL ID：201103080240925025
薄片試料作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
久原 健太郎
, 内野 則彰
, 木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-119227
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203266
出願日： 2011年05月27日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】気体イオンビーム装置とFIBとSEMを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。【解決手段】FIB鏡筒1と、SEM鏡筒2と、気体イオンビーム鏡筒3と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸8と直交する回転軸10とを持つ回転試料ステージ9と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム4と電子ビーム5と気体イオンビーム6とは、1点で交わり、かつFIB鏡筒1の軸とSEM鏡筒2の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸8と直交し、かつFIB鏡筒1の軸と気体イオンビーム鏡筒3の軸とユーセントリックチルト軸8とは一つの平面内にあるように配置する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
集束イオンビームと気体イオンビームにより薄片試料を作製する薄片試料作製方法において、
試料に前記集束イオンビームを照射し、前記薄片試料を作製する薄片化工程と、
前記薄片試料の表面に前記気体イオンビームを照射するために、前記薄片試料を載置する試料ステージを回転させる試料ステージ回転工程と、
前記表面に前記気体イオンビームを照射し、前記薄片試料の仕上げ加工を行う仕上げ加工工程と、からなる薄片試料作製方法。
IPC (4件)：
G01N 1/28
, H01J 37/317
, H01J 37/20
, H01J 37/28
G01N1/28 F
, G01N1/28 G
, H01J37/317 D
, H01J37/20 A
, H01J37/28 B
2G052EC18
, 2G052GA34
, 2G052GA35
, 2G052HC11
, 2G052HC35
, 5C001AA06
, 5C001CC08
, 5C033UU03
, 5C033UU10
, 5C034DD09
