蒸着源、それを備えた蒸着装置及び薄膜形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：アイ・ピー・ディー国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-227752
公開番号（公開出願番号）：特開2011-117073
出願日： 2010年10月07日
公開日（公表日）： 2011年06月16日
要約：

【課題】熱による蒸着物質の変性を防止し、材料の利用効率を高めることができる蒸着源、それを備えた蒸着装置及び薄膜形成方法を提供する。【解決手段】蒸着物質を冷却しながら保存し、前記保存された蒸着物質を加熱しながら供給する第1及び第2蒸着源部と、前記第1及び第2蒸着源部に接続され、前記第1または第2蒸着源から供給される蒸着物質が移動する移送部と、前記移送部に接続され、前記移送部を経て供給される蒸着物質を噴出するノズル部と、を含むことを特徴とする蒸着源。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸着物質を冷却しながら保存し、前記保存された蒸着物質を加熱しながら供給する第1及び第2蒸着源部と、前記第1及び第2蒸着源部に接続され、前記第1または第2蒸着源から供給される蒸着物質が移動する移送部と、前記移送部に接続され、前記移送部を経て供給される蒸着物質を噴出するノズル部と、を含むことを特徴とする蒸着源。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , H01L 51/50 , H05B 33/10

FI (4件)：

C23C14/24 B , C23C14/24 D , H05B33/14 A , H05B33/10

Fターム (20件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107GG04 , 3K107GG28 , 3K107GG32 , 3K107GG33 , 3K107GG34 , 3K107GG36 , 3K107GG42 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029BB03 , 4K029CA01 , 4K029DB06 , 4K029DB14 , 4K029DB18 , 4K029DB24 , 4K029HA01

引用特許：

審査官引用 (10件)

蒸着装置及び蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-179262 出願人：キヤノン株式会社
特許第926437号
特許第926437号

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