特許
J-GLOBAL ID：200903096807697695

真空蒸着装置および真空蒸着方法

発明者：
松本 祐司

松本 祐司 について

, 
前羽 良保

前羽 良保 について


出願人/特許権者：
日立造船株式会社

日立造船株式会社 について


代理人 (4件)： 板垣 孝夫 ,  森本 義弘 ,  笹原 敏司 ,  原田 洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-251981
公開番号（公開出願番号）：特開2008-075095
出願日： 2006年09月19日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：
【課題】1つの成膜室で短い蒸着時間で被蒸着部材に複数層の膜を形成する。【解決手段】成膜室4に、基板Bに対向して配置された材料放出部11に、材料を放出する放出口を有する第1〜第3分散容器12A〜12Cを設け、材料を蒸発させる第1,第3蒸発セル32A,32Cと第1,第3分散容器12A,12Cとを第1,第3開閉弁34A〜34Cを介して接続するとともに、材料の蒸発温度と熱分解温度の間の温度範囲が共通する材料を蒸発する複数の第2-1〜第2-3蒸発セル32Ba〜32Bcと、第2分散容器12Bとをそれぞれ第2-1〜第2-3開閉弁34Ba〜34Bcを介して接続し、第1〜第3分散容器12A〜12Cに、放出する材料の蒸発温度と熱分解温度の間の所定温度に加熱する容器加熱装置17A〜17Cをそれぞれ設け、第1〜第3放出口を選択的に開閉するシャッター装置20を設けた。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
1つの成膜室内で、複数の材料を被蒸着部材に蒸着して複数層の膜を形成する真空蒸着装置であって、 成膜室に、被蒸着部材の蒸着面に対向して配置されて材料を放出する材料放出部を設け、 前記材料放出部に、材料を放出する放出口を有する複数の分散容器を設け、 材料を蒸発させる蒸発セルと分散容器とを開閉手段を介して接続するとともに、少なくとも前記分散容器のうちの1つに、材料の蒸発温度と熱分解温度の間の温度範囲が共通する材料を蒸発する複数の蒸発セルをそれぞれ開閉手段を介して接続し、 各分散容器に、放出する材料の蒸発温度と熱分解温度の間の所定温度に加熱する容器加熱装置をそれぞれ設けた 真空蒸着装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (4件)：
C23C14/24 A ,  C23C14/24 S ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (13件)：
3K107AA01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG34 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB14 ,  4K029DB17 ,  4K029EA02 ,  4K029EA07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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