特許
J-GLOBAL ID：201103082906228580

感光性組成物

発明者：
ジェームズ・ダブリュー.サッカレー

ジェームズ・ダブリュー.サッカレー について

, 
イマッド・アカド

イマッド・アカド について


出願人/特許権者：
ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. について


代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-289057
公開番号（公開出願番号）：特開2011-178988
出願日： 2010年12月27日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】フォトリソグラフィプロセスにおいて使用されうる感放射線性ポリマーおよび組成物が提供される。このポリマーおよび組成物は活性化放射線に対して向上した感受性を提供する。【解決手段】第1の形態に従って、ポリマーが提供される。ポリマーはポリマー骨格およびポリマー骨格に共有結合したモノマー系光酸発生剤を含む。光酸発生剤は、重合性スルホナートアニオンを有するスルホニウム塩またはヨードニウム塩の1種以上に由来する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
ポリマー骨格およびポリマー骨格に共有結合したモノマー系光酸発生剤を含むポリマーであって、 前記モノマー系光酸発生剤が下記式(1a)または式(1b)でそれぞれ表される重合性スルホナートアニオンを有するスルホニウム塩またはヨードニウム塩の1種以上に由来する;
IPC (5件)：
C08F 220/18 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C08F 220/38 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
C08F220/18 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C08F220/38 ,  H01L21/30 502R
Fターム (45件)：
2H125AF15P ,  2H125AF25P ,  2H125AH14 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ70X ,  2H125AM66P ,  2H125AN39P ,  2H125AN57P ,  2H125BA01P ,  2H125BA32P ,  2H125CA12 ,  2H125CB07 ,  2H125CB09 ,  2H125CB12 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA15Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BA56R ,  4J100BB07R ,  4J100BB18Q ,  4J100BC03P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC43P ,  4J100BC48P ,  4J100BC48Q ,  4J100BC53Q ,  4J100CA05 ,  4J100DA61 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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