挿入型偏光発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：尾崎雄三 , 梶崎弘一 , 谷口俊彦 , 室之園和人 , 梶崎弘一 , 尾崎雄三 , 谷口俊彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-008183
公開番号（公開出願番号）：特開2000-206296
特許番号：特許第3995358号
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子ビームが通過するためのギャップ空間と、このギャップ空間を挟むように配置され、かつ、吸引力が作用するように磁石が列状に多数配列された第1主磁石列及び第2主磁石列と、前記ギャップ空間を挟むように配置され、かつ、反発力が作用するように磁石が列状に多数配列された第1補助磁石列及び第2補助磁石列とを備え、前記第1及び第2補助磁石列は、前記第1及び第2主磁石列の左右両側に配置され、第1及び第2補助磁石列を構成する磁石の配列は、左右で同じであることを特徴とする挿入型偏光発生装置。

IPC (2件)：