加速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-111424
公開番号（公開出願番号）：特開2011-237390
出願日： 2010年05月13日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】XY軸方向の加速度の検出感度に優れた加速度センサを提供する。【解決手段】支持枠11と、支持枠11に対して変位可能に設けられた錘部12と支持枠11と錘部12と支持する可撓性を有する梁部13と、梁部13に、梁部13の幅方向の中心線上を含んで設けられている空隙部14と、梁部13に設けられているひずみ抵抗検出部Rとを備える加速度センサ10を構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

支持枠と、前記支持枠に対して変位可能に設けられた錘部と前記支持枠と前記錘部と支持する可撓性を有する梁部と、前記梁部に、前記梁部の幅方向の中心線上を含んで設けられている空隙部と、前記梁部に設けられているひずみ抵抗検出部とを備えることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/12 , G01P 15/18 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01P15/12 D , G01P15/00 K , H01L29/84 A

Fターム (18件)：

4M112AA02 , 4M112BA01 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA28 , 4M112CA29 , 4M112CA31 , 4M112DA03 , 4M112DA10 , 4M112DA15 , 4M112DA18 , 4M112EA03 , 4M112EA06 , 4M112EA10 , 4M112EA18 , 4M112FA01

引用特許：

審査官引用 (5件)

3軸加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-060609 出願人：松下電工株式会社
慣性センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-099250 出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社
特開昭61-139719

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