慣性センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-099250
公開番号（公開出願番号）：特開2005-283402
出願日： 2004年03月30日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】高感度性と耐衝撃性とを両立可能とするビームを備えた慣性センサを提供すること。【解決手段】衝撃によってビームに生じる応力が集中する部分を避けて局所的に容易変形部(厚みが薄い凹部15や穴など)を設けることとした。また、その凹部15をビーム13の中心を通る延在方向および当該延在方向と直角方向の直線に対して線対称に配置することとした。さらに、ビーム13の根元部が錘12および枠14とは直角に接することなくより緩やかな角度となるように根元部を形成することとした。これにより、センサの耐衝撃性を低下させることなくセンサの感度を向上させること、および、ビーム根元部の応力集中エリアを分散させることが可能となり、センサの感度を犠牲にすることなくその耐衝撃性を向上させることが可能となる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

可動部である錘を複数のビームで吊り下げる構成のセンシング部を有する慣性センサであって、前記ビームは局所的に容易変形部を有し、当該容易変形部は前記ビームの応力集中部位である端部を避けて設けられていることを特徴とする慣性センサ。

IPC (3件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125

FI (3件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 Z

Fターム (7件)：

2F105AA02 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB02 , 2F105BB12 , 2F105BB13 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

容量式加速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-366827 出願人：三菱電機株式会社

審査官引用 (13件)

圧電振動子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-118830 出願人：シチズン時計株式会社
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-327294 出願人：日本航空電子工業株式会社
自己診断能力を備えた対称型プルーフ・マス加速度計とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-260135 出願人：ヒュンダイモーターカンパニー

全件表示

前のページに戻る