特許
J-GLOBAL ID：201103089530199538

アクティブマトリクス型液晶表示パネルの製造方法

発明者：
豊島 剛

豊島 剛 について


出願人/特許権者：
カシオ計算機株式会社

カシオ計算機株式会社 について


代理人 (1件)： 長南 満輝男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-129660
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311926
特許番号：特許第3873164号
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 パネル形成領域およびその周囲の非パネル形成領域を有する基板上に絶縁膜が設けられ、前記パネル形成領域および前記非パネル形成領域における前記絶縁膜下にAl系金属からなる配線が設けられ、前記パネル形成領域における前記絶縁膜上にITOからなる画素電極が設けられたアクティブマトリクス型液晶表示パネルの製造に際し、 前記絶縁膜上にITO膜を成膜し、 このITO膜をウェットエッチングして、前記パネル形成領域における前記絶縁膜上に前記画素電極を形成し、前記絶縁膜に形成された開口部を介して露出されたAl系金属からなる複数の接続パッドの各々の上面およびその近傍における前記絶縁膜上に前記ITO膜を島状に残存させて上層接続パッドを形成するとともに、前記非パネル形成領域における前記絶縁膜上の全体に前記ITO膜よりなる保護膜を形成し、その後前記非パネル形成領域に対応する部分を切断して除去することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表示パネルの製造方法。
IPC (4件)：
G02F 1/13 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1343 ( 200 6.01) ,  G09F 9/00 ( 200 6.01) ,  G09F 9/30 ( 200 6.01)
FI (5件)：
G02F 1/13 101 ,  G02F 1/134 ,  G09F 9/00 309 Z ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/30 338
引用特許：
審査官引用 (4件)
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