特許
J-GLOBAL ID：201103089901361007
低汚染性接着シ-ト類とレジスト材の除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-367785
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181585
特許番号：特許第4495813号
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 フィルム基材上に感圧接着性ポリマー、分子内に不飽和二重結合を1個以上有する重合性化合物および重合開始剤を含有する硬化型の接着剤層を有する接着シート類において、上記の感圧接着性ポリマーが多官能性化合物により架橋処理されて、上記の重合性化合物および重合開始剤により硬化させた接着剤層を酢酸エチル中に60°Cで10時間投入したときの溶剤不溶分の初期重量に対する割合として算出される、硬化後のゲル分率が90%以上となるように設定されていることを特徴とする低汚染性接着シート類。
IPC (3件)：
C09J 7/02 ( 200 6.01)
, G03F 7/42 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
C09J 7/02 Z
, G03F 7/42
, H01L 21/30 572 Z
