特許
J-GLOBAL ID：201103091039757949

光学センサーデバイス

発明者：
エリック・グルニー

エリック・グルニー について

, 
アレクサンドル・オボトニン

アレクサンドル・オボトニン について


出願人/特許権者：
レニショー・ピーエルシー

レニショー・ピーエルシー について


代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-529276
公開番号（公開出願番号）：特表2011-501142
出願日： 2008年10月10日
公開日（公表日）： 2011年01月06日
要約：
測定及び検査装置に用いる光学センサーデバイス(38)は、広帯域放射光源(50)、波長感応性受信機(52)及びビーム分岐手段(60)を有する白色光センサー(44)を含む光学センサーヘッド(40)と、測定ビームを測定されるべき対象物上に導くと共に、測定されるべき対象物から反射される反射ビームを検出する対物レンズ(46)とを備える。光学センサーデバイス(38)は、ビデオセンサー(80)を更に備え、ビデオセンサー(80)のビーム経路は、光学センサーヘッド(40)の白色光センサー(44)のビーム経路と同じ対物レンズ(46)を通過する。
請求項（抜粋）：
測定及び/又は検査装置において用いられる光学センサーデバイス(38)であって、 広帯域放射源(50)、波長感応性受信機(52)及びビーム分岐手段(60)を有する白色光センサー(44)を含む光学センサーヘッド(40)と、 測定ビームを測定されるべき対象物上に導くと共に、前記測定されるべき対象物から反射される反射ビームを検出する対物レンズ(46)と、 を備え、 前記光学センサーデバイス(38)が、ビデオセンサー(80)を更に備え、 前記ビデオセンサー(80)のビーム経路は、前記光学センサーヘッド(40)の前記白色光センサー(44)のビーム経路と同じ前記対物レンズ(46)を通過する光学センサーデバイス(38)。
IPC (1件)：
G01B 11/00
FI (1件)：
G01B11/00 A
Fターム (19件)：
2F065AA04 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065GG07 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL10 ,  2F065LL46 ,  2F065MM01 ,  2F065PP03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ29
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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