スイッチ構造及び方法

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：荒川聡志 , 小倉博 , 黒川俊久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-201497
公開番号（公開出願番号）：特開2011-091029
出願日： 2010年09月09日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】スイッチ構造において発生する障害を抑制した超小型電気機械システム(MEMS)を提供する。【解決手段】超小型電気機械システム(MEMS)のスイッチ構造100は接点102及び導電性素子104を含み、導電性素子104は接点102から離間される第1の位置と、接点102と接触する第2の位置との間で変形可能なように構成され、また、導電性素子104は、クリープとよばれる時間依存変形を抑止するための金属材料から形成される。この耐クリープ金属材料は、小さな定常状態塑性歪み速度を示す材料であり、例えば、ニッケルータングステン合金を含む。耐クリープ材料により導電素子104を形成することにより、導電素子104と接点102間距離を長期間一定に維持することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

接点(102)と; 実質的に金属材料から形成され且つ時間依存変形を抑止するように構成された導電性素子(104)とを具備し、前記導電性素子は、前記導電性素子が前記接点から離間される第1の位置と、前記導電性素子が前記接点と接触する第2の位置との間で変形可能であるように構成される装置。

IPC (3件)：

H01H 59/00 , H01H 1/021 , B81B 3/00

FI (3件)：

H01H59/00 , H01H1/02 F , B81B3/00

Fターム (20件)：

3C081BA43 , 3C081BA44 , 3C081BA45 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081DA11 , 3C081EA23 , 5G050AA11 , 5G050AA14 , 5G050AA24 , 5G050AA29 , 5G050BA02 , 5G050BA03 , 5G050BA04 , 5G050BA06 , 5G050BA12 , 5G050CA01 , 5G050DA03 , 5G050DA10 , 5G050EA09

引用特許：

審査官引用 (6件)

高周波マイクロマシン技術及びそのような技術の製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-537520 出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
マルチモルフ・アクチュエータと静電ラッチメカニズムとを有するマイクロ・ファブリケーションされたリレー
公報種別：公表公報出願番号：特願2004-527504 出願人：エックスコムワイアレスインコーポレイテッド
高強度ばね部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-014070 出願人：株式会社東芝

全件表示

前のページに戻る