特許
J-GLOBAL ID：201103095195270842

レーザ光によるガラス基板加工装置

発明者：
熊谷 一星

熊谷 一星 について

, 
清水 政二

清水 政二 について


出願人/特許権者：
三星ダイヤモンド工業株式会社

三星ダイヤモンド工業株式会社 について


代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-154579
公開番号（公開出願番号）：特開2011-011917
出願日： 2009年06月30日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】レーザ光を用いたガラス基板の加工に際し、加工時間を短縮する。【解決手段】このガラス基板加工装置は、ガラス基板が載置されるワークテーブル2と、レーザ光を出力するレーザ光出力部15と、入力されたレーザ光を複数の点に集光させるための回折光学素子34及びfθレンズ20と、複数の集光点をそれらの1つの中心軸の回りに回転させるための中空モータ17と、レーザ光出力部15からのレーザ光を回折光学素子34に導く光学系16と、1つの中心軸の回りに回転する複数の集光点のすべてをガラス基板の表面に沿った平面内で任意の方向に走査するためのx方向ガルバノミラー18及びy方向ガルバノミラー19と、を備えている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ガラス基板にレーザ光を照射して加工を行う加工装置であって、 加工すべきガラス基板が載置されるワークテーブルと、 レーザ光を出力するレーザ光出力部と、 入力されたレーザ光を複数の点に集光させるための多点集光部と、 前記複数の集光点を、それらの1つの中心軸の回りに回転させるための回転駆動機構と、 前記レーザ光出力部からのレーザ光を前記多点集光部に導く光学系と、 前記1つの中心軸の回りに回転する複数の集光点のすべてを前記ガラス基板の表面に沿った平面内で任意の方向に走査するためのレーザ光走査部と、 を備えたレーザ光によるガラス基板加工装置。
IPC (5件)：
C03B 33/09 ,  B23K 26/40 ,  B23K 26/067 ,  B23K 26/08 ,  B28D 5/00
FI (5件)：
C03B33/09 ,  B23K26/40 ,  B23K26/067 ,  B23K26/08 H ,  B28D5/00 Z
Fターム (22件)：
3C069AA04 ,  3C069BA08 ,  3C069BB01 ,  3C069BC01 ,  3C069BC04 ,  3C069CA11 ,  3C069EA01 ,  4E068AF00 ,  4E068CA11 ,  4E068CA12 ,  4E068CB05 ,  4E068CB08 ,  4E068CD04 ,  4E068CD08 ,  4E068CE03 ,  4E068CE04 ,  4E068CE05 ,  4E068CE09 ,  4E068DB13 ,  4G015FA07 ,  4G015FA09 ,  4G015FB01
引用特許：
審査官引用 (8件)
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