剥離剤組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細田芳徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073798
公開番号（公開出願番号）：特開2000-267302
特許番号：特許第4202516号
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (A)炭素数1〜6の直鎖状飽和モノカルボン酸、飽和多価カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、芳香環を有するカルボン酸、ホスホン酸、及びスルホン酸からなる群より選ばれる有機酸及び/又はその塩、(B)水5〜90重量%、(C)界面活性剤とを含有し、pHが0.1〜3.3のレジスト用剥離剤組成物。

IPC (2件)：